СИРИУС /Федеральная территория/, 21 ноября. /ТАСС/. Коллаборация российских коллективов за два-три года сможет создать рентгеновский литограф для производства современных чипов. Об этом сказал в понедельник научный руководитель Национального центра физики и математики (НЦФМ), академик Александр Сергеев на сессии XII Международного форума "Атомэкспо" "Трансфер технологий из фундаментальной науки: перспективы в меняющемся мире", модератором которой выступил руководитель редакции "Наука" ТАСС Андрей Резниченко.
Академик отметил отставание России в микроэлектронике и отсутствие в стране рентгеновских литографов, позволяющих производить чипы с нанометровым топологическим размером. По его словам, для обретения технологического суверенитета необходимо иметь это технологическое оборудование высокого класса.
"В рамках НЦФМ коллаборация, которую мы хотим предложить, может разработать в течение двух-трех лет такой литограф", - сказал Сергеев.
Мировым лидером в этой сфере является компания AMSL. В ее устройствах лазер испаряет олово. Рентгеновское излучение получившейся плазмы используется для фотолитографии. "Только эта компания производит соответствующие рентгеновские литографы, мы предлагаем с помощью наших технологий разработать альтернативу, мы будем использовать для фокусировки этого излучения рентгеновские зеркала, которые разработаны в институте прикладной физики РАН и в Федеральном ядерном центре в Сарове, а также разработки института им. Седакова. Если соединить эти три разработки, то мы получим литографическую систему с мощностью, которая в разы превосходит те, что делает AMSL", - заявил академик Сергеев. Он предложил ГК "Росатом" принять участие в коллаборации.
НЦФМ создан по поручению президента Российской Федерации Владимира Путина в городе Сарове Нижегородской области. Центр будет основан на экспериментальной и расчётной базе Российского федерального ядерного центра - ВНИИЭФ, а также комплексе из научно-исследовательских корпусов, передовых лабораторий и установок класса "миди-саейнс" и "мега-саейнс" самого НЦФМ. В рамках "быстрого старта" образовательной частью центра стал филиал МГУ имени М.В. Ломоносова "МГУ Саров" в 2021 году. Научную кооперация НЦФМ составили более 60 научных организаций и наукоемких компаний. Учредителями проекта выступили Госкорпорация "Росатом", Российская академия наук, Министерство науки и высшего образования РФ, МГУ имени М.В. Ломоносова и НИЦ "Курчатовский институт". Основные цели центра - получение новых научных результатов мирового уровня, подготовка учёных высшей квалификации, воспитание новых научно-технологических лидеров, укрепление кадрового потенциала предприятий ГК "Росатом" и ключевых научных организаций РФ, повышение привлекательности российской науки для молодых ученых.
О форуме
Международный форум "Атомэкспо-2022" является одним из самых значимых мероприятий мировой атомной отрасли. Участие в форуме, ключевая тема которого определена как "Атомная весна": создавая устойчивое будущее", принимают ведущие эксперты и специалисты из более чем пяти десятков стран. В рамках форума, который продлится 21 и 22 ноября, пройдет обсуждение роли атомной энергетики в решении задач глобальной климатической повестки и вклада атомных технологий в достижение целей устойчивого развития ООН. Форум "Атомэкспо" проводится с 2009 года. ТАСС является информационным партнером форума.