Сегодня мы представляем вам платформу для пьезоэлектрического движения с замкнутым циклом движения XYZ и пьезоэлектрическим винтом. Пользователи пьезоэлектрических винтовых спортивных платформ будут знать, что, как правило, такие спортивные платформы почти с открытым кольцом и без сервопривода с замкнутым контуром. Тем не менее, учитывая высокие требования к точности, предъявляемые пользователями при управлении движением большого хода, мы специально разработали и разработали пьезоэлектрическую винтовую спортивную платформу XYZ65N81E26. Платформа оснащена инкрементным кодером для точного управления ходом движения и точностью до 1,5 мкм.
Особенности
Движение XYZ
инкрементный кодер с замкнутым контуром
Диапазон хода ±12,5 мм / ось
Смещение нанометрового уровня
Точность до 1,5 мкм
Принцип движения
Платформа для перемещения пьезоэлектрических винтов XYZ65N81E26 управляется пьезоэлектрическими винтами. Движение пьезоэлектрических винтов вращается через микродвижущиеся винты внутренней пьезоэлектрической керамики, тем самым двигаясь вперед по резьбе. Продвижение винта позволяет нагрузке перемещать поверхность платформы линейно.
Технические данные
Параметры представлены в следующей таблице:
Тестовые данные
Следующие результаты были измерены при нагрузке 1,5 кг, температуре 28,8 °C и влажности 31%.
Настройка параметров и вакуумных версий
Компания CoreMorrow предлагает собственную платформу для движения с пьезоэлектрическими винтами в соответствии с требованиями пользователя. Пользователь может выбрать перемещение от одной до трех осей и выбрать инкрементный кодер. Кроме того, вакуумная совместимая версия также может быть настроена с вакуумом до 10 ^ - 6bar.
Применение
XYZ65N81E26 представляет собой трехосную пьезоэлектрическую винтовую спортивную платформу. Из - за его большого маршрута, высокой точности характеристик, идеально подходит для полупроводниковых испытаний, обнаружения кристаллических кругов, нанопечати, нанометеорологии, промышленного точного позиционирования и других областей.
Вспомогательный контроллер
Платформа движения пьезоэлектрических винтов XYZ65N81E26 использует контроллер E53.D1E, разработанный и изготовленный CoreMorow, который может подключаться к компьютеру и общаться с ним через последовательные порты. Компьютерное программное обеспечение контролирует движущуюся платформу пьезоэлектрических винтов и может устанавливать скорость движения и другие параметры.
Другие пьезоэлектрические винтовые спортивные платформы
Для получения дополнительной информации о пьезоэлектрической винтовой спортивной платформе, пожалуйста, свяжитесь с нами.