Как правило, пьезоэлектрическая наноплатформа позиционирования предназначена для обычных внутренних условий, однако многим пользователям все еще нужно использовать платформу в вакууме. Например, когда исследования должны основываться на вакуумных условиях, необходимо создать соответствующую вакуумную экспериментальную среду, а соответствующая пьезоэлектрическая нанолокационная платформа для точного позиционирования должна работать в вакуумной среде. Необходимо обеспечить, чтобы пьезоэлектрические нанолокационные платформы работали в вакуумной среде без износа, утечки или чрезмерного тепла, чтобы избежать неблагоприятных последствий для вакуума в вакуумной среде, таких как изменение вакуума.
В зависимости от степени вакуума, вакуум можно разделить, по крайней мере, на вакуум и сверхвысокий вакуум. 10 ^ - 6bar вакуум для средней вакуумной среды, 10 ^ - 9bar для сверхвысокой вакуумной среды.
Платформы нанолокации серии XD731 предназначены для вакуумных приложений с вакуумной совместимостью до 10 ^ - 7mbar. Он может быть настроен одновременно в направлении X, Y и Z на наноуровне и обладает отличной гибкостью.
Особенности
• Движение XYZ
• Вакуумная совместимость
• Очень компактно
• Дополнительные датчики обратной связи
Применение
• Быстрое вакуумное сканирование XYZ
• Нано - позиционирование
• Биотехнология
• Квантовые измерения
Управляющее напряжение и кривая смещения
Вакуумные радиостанции XYZ XD731 могут быть оснащены датчиками замкнутого цикла. После измерения кривая между управляющим напряжением привода и фактическим смещением в условиях замкнутого цикла показана на рисунке ниже.
резонансная частота
Результаты испытаний показали, что резонансная частота холостого хода на замкнутом вакуумном пьезоэлектрическом уровне XD731 составляет более 400 Гц, а резонансная частота при нагрузке 250 Гц - более 150 Гц.
Вакуумный дизайн
CoreMorrow принимает индивидуальные конструкции различных вакуумных пьезоэлектрических продуктов.
В соответствии с требованиями к параметрам вакуума и условиями вакуума, предлагаемыми пользователями, CoreMorow может проектировать одномерные или многомерные пьезоэлектрические платформы на основе гибких искривленных машин. В процессе проектирования мы должны не только обеспечить стандартные параметры, но и сосредоточиться на выборе материала в вакуумных условиях, чтобы материал не оказывал негативного воздействия на вакуумную среду и чтобы точность управления движением каждой оси была оптимальной.
В то время как пространство для вакуумных экспериментов обычно ограничено, CoreMorrow оптимизирует не только параметры и материалы на каждом этапе, но и внешний вид и размеры.
вакуумный фланец
Для обеспечения вакуума и улучшения условий работы пьезоэлектрические уровни в вакуумной среде и пьезоэлектрические контроллеры за пределами вакуумной камеры должны быть соединены вакуумным фланцем. Мы можем предоставить пользователям вакуумные фланцы различных размеров и спецификаций, чтобы облегчить установку системы позиционирования в вакуумной среде.
Технические данные XD731
Для получения дополнительной информации о нанопозиционировании в вакуумной среде свяжитесь с нами (www.coremorrow.com).