KUKA разрабатывает мобильные роботы для применения в производстве полупроводников

Производство полупроводников представляет собой сложный процесс. До сих пор производство полупроводников происходило без использования мобильных, автоматизированных систем, позволяющих направлять детали от одного производственного этапа к другому. Благодаря решению KUKA Wafer Handling Solution теперь все изменилось.

Полупроводники применяются повсюду

Полупроводники – небольшие интеллектуальные микросхемы – находят применение повсюду: в смартфонах, планшетах и даже автомобилях. Центральное значение они приобретают, в первую очередь, в автомобильной промышленности, характеризуемой мегатенденциями. В производстве полупроводников выполняется обработка полупроводниковых пластин, изготовленных из кремния. Полупроводниковые пластины хранятся в процессе производства в специальных пластмассовых кассетах в чистых помещениях и подвергаются многоэтапной обработке. С возрастанием спроса на полупроводники производители хотят еще в большей степени автоматизировать производственный процесс.

Автоматизированные операции с полупроводниковыми пластинами: KUKA Wafer Handling Solution

Разработав KUKA Wafer Handling Solution, компания KUKA представила первое в мире решение от одного производителя, которое позволяет автоматизировать транспортно-загрузочные операции с кассетами полупроводников. Решение состоит из стандартизированной автоматизированной самоходной тележки Automated Guided Vehicle (AGV) и робота легкой конструкции LBR iiwa, который отлично зарекомендовал себя на практике. Кроме того, решение включает в себя продуманную систему захватов. Программное обеспечение, используемое в рамках решения, также разработано компанией KUKA.

Роботизированное решение для применения в производстве полупроводников в чистых помещениях

Возможность перемещения обеспечивает мобильная платформа KMR 200 CR. Платформа имеет колеса Илона, которые позволяют реализовывать перемещение во всех направлениях. Датчики на платформе регистрируют окружающее пространство в режиме реального времени и, таким образом, исключают риск столкновения. На платформе установлен LBR iiwa, способный взаимодействовать на уровне «человек-робот». Высокая степень чувствительности робота дает возможность проводить операции с кассетами полупроводников надежно и плавно. Третий компонент решения – индивидуально разработанные захваты. Система захватов запатентована компанией KUKA.

Программное обеспечение управляет мобильными роботизированными элементами

В решении, предусмотренном для проведения операций с полупроводниковыми пластинами в чистых помещениях, компанией KUKA разработаны как технические, так и программные средства. Программное решение Wafer Handling легко интегрируется в систему Manufacturing Execution System, используемую производителями полупроводников. Программа управления перемещением, встроенная в программное обеспечение, управляет запросами на транспортировку, обеспечивая оптимальное автоматизированное производство полупроводников. Все решения разработаны одним производителем и сертифицированы. В результате, максимально сокращаются временные затраты на ввод в эксплуатацию, что, в свою очередь, делает транспортно-загрузочную систему самой гибкой на рынке.