Пьезоэлектрический двигатель использует пьезокерамику в качестве движущего элемента и, благодаря специальной конструкции, преобразует микроперемещения пьезоэлектрического привода в линейное перемещение на миллиметровом уровне или вращательное движение на 360°. В зависимости от режима движения двигатели делятся на линейные и вращательные пьезоэлектрические двигатели. В условиях современных требований к высокоточному автоматизированному управлению в промышленности и высокотехнологичных областях пьезоэлектрические двигатели, обладающие большим ходом, высокой точностью, малыми размерами и другими преимуществами, широко используются в полупроводниковой технологии, оптических приборах и оборудовании, медицинском, биологическом и микроскопическом оборудовании, прецизионном обрабатывающем оборудовании, аэрокосмической отрасли и других областях.
N11.X3.5KZ — это сверхминиатюрный линейный пьезоэлектрический двигатель для работы в вакууме, использующий принцип скольжения-залипания для преобразования микроперемещений пьезокерамики в перемещения длиной в несколько миллиметров. Он имеет компактные размеры 15×15×7 мм³. Благодаря большому ходу в 3,6 мм, его можно использовать как отдельно, так и в комбинации для 1-3-мерного перемещения, при этом скорость перемещения может достигать 2 мм/с. Мы предлагаем вакуумные версии с давлением 10⁻⁶ мбар и 10⁻⁹ мбар на ваш выбор, что делает его идеальным для применений, требующих регулировки перемещения в миллиметровом диапазоне в ограниченных пространствах и условиях.
Характеристики
• Ход до 3,6 мм
• 1–3 оси на выбор
• Малые размеры, легкий вес
• Скорость до 2 мм/с
• Самоблокировка в состоянии покоя
Применение
Линейный пьезоэлектрический двигатель N11.X3.5KZ может широко использоваться в высокоточных системах управления движением или оборудовании, таких как перемещение образцов в системах сверхвысокого разрешения, микро- и нанооборудование и производство, манипулирование образцами в сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), нанофокусировка и сканирование, активная оптика, производство и тестирование интегральных схем, микро- и нано-КТ, крупномасштабная прямая запись электронным пучком (EBL), высокоточная юстировка и настройка положения образцов в высоком вакууме и т. д.
Технические данные
Пьезоконтроллер
Пьезоконтроллер E53.C1K-J, разработанный и произведенный компанией CoreMorrow, является хорошим выбором для управления N11.X3.5KZ. Это одноканальный пьезоконтроллер с цифровым управлением. Благодаря небольшим размерам (всего 105×103×30,1 мм³) и компактной конструкции его очень легко интегрировать.
Для получения более подробной информации, пожалуйста, свяжитесь с компанией CoreMorrow по телефонам 0451-86268790, 17051647888 (идентификатор WeChat).