π·πΊ 7 ΠΌΠ»ΡΠ΄ ΡΡΠ±Π»Π΅ΠΉ Π½Π° ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ: ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΡΠ°Π½Π° ΡΡΠΈΡΡΡ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΡ Π±Π΅Π· ΠΠ°ΠΏΠ°Π΄Π° ΠΡΠΈΠ²Π΅Ρ, Π΄ΡΡΠ·ΡΡ! π Π‘Π΅Π³ΠΎΠ΄Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΠΌ ΠΎ ΡΠΎΠΌ, ΠΊΠ°ΠΊ Π ΠΎΡΡΠΈΡ ΡΠ°Π³Π°Π΅Ρ ΠΊ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π½Π΅Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ β ΠΈ ΡΠ΅ΡΡ Π½Π΅ ΠΎ ΡΠΌΠ°ΡΡΡΠΎΠ½Π°Ρ
, Π° ΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΌ ΡΠ΅ΡΠ΄ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ: ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΈΠΏΠΎΠ². π»π§ π° ΠΠΈΠ½ΠΏΡΠΎΠΌΡΠΎΡΠ³ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΠ» ΠΏΠΎΡΡΠΈ 7 ΠΌΠ»ΡΠ΄ ΡΡΠ±Π»Π΅ΠΉ Π½Π° ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΡΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΊ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ. ΠΡΠΈ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Ρ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΡ Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΠΊΠΈΠ΅, Π΅Π²ΡΠΎΠΏΠ΅ΠΉΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠΏΠΎΠ½ΡΠΊΠΈΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈ β ΡΠ΅, Π±Π΅Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΠ°Π½ΡΡΠ΅ Π½Π΅ ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΡΡ Π½ΠΈ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ Π·Π°Π²ΠΎΠ΄. π Π§ΡΠΎ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°ΡΡ? 1οΈβ£ ΠΠ»Π°ΡΡΠ΅Ρ Π΄Π»Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΡΠ»ΠΎΡΠ² (1,99 ΠΌΠ»ΡΠ΄ β½) β Π½ΡΠΆΠ½ΡΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΠΏΠΎ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ 90β180 Π½ΠΌ. ΠΠ½Π°Π»ΠΎΠ³: Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΠΊΠ°Ρ Applied Materials ΠΈ ΡΠ²Π΅ΠΉΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Ρ Evatec. 2οΈβ£ Π£ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ (1,61 ΠΌΠ»ΡΠ΄ β½) β ΠΈΡΠ΅Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ Π½Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΡ
ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π°Ρ
. ΠΠ°ΠΌΠ΅Π½Π° Π°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠΊΠ°Π½ΡΠΊΠΎΠΉ KLA Tencor. 3οΈβ£ ΠΠ΅ΡΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ (1,52 ΠΌΠ»ΡΠ΄ β½) β Π±Π΅Π· Π½ΠΈΡ
Π½Π΅ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ. ΠΠ½Π°Π»ΠΎΠ³: ΡΠΏΠΎΠ½ΡΠΊΠ°Ρ TEL ALPHA. 4οΈβ£ ΠΠ°Π·Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³ (1,39 ΠΌΠ»ΡΠ΄ β½) β Π΄Π»Ρ ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ.
π·πΊ 7 ΠΌΠ»ΡΠ΄ ΡΡΠ±Π»Π΅ΠΉ Π½Π° ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΈΠΏΡ: ΠΊΠ°ΠΊ ΡΡΡΠ°Π½Π° ΡΡΠΈΡΡΡ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΡ Π±Π΅Π· ΠΠ°ΠΏΠ°Π΄Π°
27Β Π½ΠΎΡΠ±ΡΡΒ 202527Β Π½ΠΎΡΒ 2025
1 ΠΌΠΈΠ½