При непрерывном развитии полупроводниковой промышленности производство полупроводниковых чипов продолжает двигаться вперед, и его технологический уровень напрямую определяет качество и эффективность производства чипов. Отложение пленки является одним из основных процессов в процессе производства чипа и является ключом к определению производительности пленки. Его роль заключается в многократном сложении металлических пленок (таких как алюминий, медь, вольфрам, титан и т.д.) и оксидов (таких как диоксид кремния, нитрид кремния) на поверхности чипа физическими или химическими методами. Толщина пленки варьируется от нанометров до микрон, и на этих пленках могут быть проведены фотолитография, травление и другие процессы, которые в конечном итоге образуют каждый слой структуры схемы.
Оборудование для тонкопленочного осаждения можно разделить на PVD, CVD и ALD в соответствии с различными технологическими принципами, которые соответствуют трем технологическим принципам: физическое осаждение в газовой фазе (PVD), химическое осаждение в газовой фазе и атомное осаждение в слое (ALD).
По мере того, как размер чипа, используемого в производстве чипа, продолжает увеличиваться, а минимальный размер характеристики уменьшается, это значительно увеличивает требования к уточнению параметров производительности пленки. однородность, покрытие ступеней и заполнение канавок стали важными показателями качества осаждения пленки, что требует, чтобы оборудование для осаждения пленки интегрировало сверхточные движущиеся компоненты и осуществляло осаждение пленки на поверхности кристаллического круга, чтобы помочь улучшить производственный процесс и улучшить качество продукции.
Применение пьезоэлектрических наноспортивных продуктов CoreMorrow в тонкопленочных осадочных установках
1.Контроль толщины и однородности пленки:
пьезоэлектрический привод CoreMorrow может контролировать скорость и однородность осаждения пленки, создавая небольшие вибрации, что приводит к высококачественному осаждению пленки.
2. Повышение темпов осаждения:
пьезоэлектрический привод CoreMorrow может увеличить скорость осаждения, генерируя высокочастотные вибрации, тем самым сокращая время осаждения и повышая производительность
3. Повышение качества пленки:
пьезоэлектрический возбудитель CoreMorrow может улучшить качество пленки, контролируя микроструктуру и кристаллическую структуру поверхности пленки, тем самым улучшая производительность полупроводниковых устройств.
4. Достижение нанообработки
пьезоэлектрические возбудители CoreMorrow могут выполнять нано - обработку, генерируя нанометровые вибрации, такие как подготовка нанопроводов, наноотверстий и других наноструктур.
5.Регулируйте положение кристаллического круга, нагревательного диска и пластины, чтобы они были концентрическими:
Платформа CoreMorrow для пьезоэлектрического нанопозиционирования может выполнять одноосные или трехосные движения X, Y, Z с разрешением до миллиметров. Использование высокоточных датчиков, платформа может достичь разрешения наноуровня, точность позиционирования высокой надежности. Расположение кристаллических кругов, нагревательных панелей и струйных панелей может быть отрегулировано горизонтально или вертикально, чтобы держать их на одной оси.
6.Многоугольное движение нагревательного диска приводит к более равномерному осаждению пленки:
пьезоэлектрический наконечник / наклонный стол CoreMorrow может быть точно отрегулирован с помощью пьезоэлектрического керамического привода. Он обладает высокой точностью отклонения и стабильностью, быстрой реакцией и позволяет нагревательному диску выполнять многоугольное или вращающееся движение во время осаждения пленки, что позволяет нагревательному диску работать с распылительной пластиной в любом угловом положении, что делает осаждение пленки более равномерным.
Типичная модель CoreMorrow
Ключевыми компонентами оборудования для осаждения тонкой пленки являются вакуумные системы, осаждение тонкой пленки на чипе должно осуществляться в вакуумной среде, а пьезоэлектрические нанодвижущиеся продукты CoreMorrow могут быть адаптированы к среде пользователя, включая вакуумные версии и другие параметры, такие как ось движения, маршрут, грузоподъемность, рабочая частота и апертура.
Для получения дополнительной информации свяжитесь с CoreMorrow по телефону 0451 - 862687900170516747888 (WeChat ID).