пьезоэлектрический фазовращатель
пьезоэлектрический фазер является наиболее важной частью фазосдвигающего интерферометра. пьезоэлектрический фазер широко используется с его высоким разрешением, быстрой реакцией, легкостью управления, стабильной производительностью и другими преимуществами.
Тем не менее, пьезоэлектрическая керамика также имеет свои недостатки, а именно ее нелинейные ошибки и небольшие смещения, что является причиной ее широкого применения.
Для решения этой проблемы CoreMorrow разработал схему привода напряжения PZT, которая обеспечивает сдвиг фазы, используя гибкую шарнирную структуру с увеличенными характеристиками. В сочетании с оптикой, программированием на нижнем уровне и написанием программ обработки данных на платформе разработки программного обеспечения было разработано устройство для измерения точного управления фазовым сдвигом.
Чтобы эффективно решить влияние нелинейности, ползучести и гистерезиса PZT на точность фазового сдвига, устройство использует управление обратной связью с замкнутым контуром, образованное смещением напряжения, для достижения адаптивного управления позиционированием с микромасштабом, Это значительно улучшает нелинейность и уменьшает внешние эффекты и помехи, что значительно повышает точность измерения фазового сдвига.
пьезоэлектрический фазовращатель CoreMorrow, приводимый в движение тремя наборами пьезоэлектрических реакторов, может использоваться в линзах с апертурой диаметром до 106 мм и смещением более 20 мм. Эксперименты показали, что пьезоэлектрический фазер имеет лучшие результаты, точность управления до субнанометрового уровня, может значительно улучшить точность измерения, в технологии фазового измерения имеет широкую практическую ценность, широко используется в различных современных интерферометрах.
пьезоэлектрический фазер для голографической интерферометрии
В голографической интерферометрии необходимо определить размер и направление смещения и деформации объекта. В процессе обнаружения в реальном времени необходимо быстро определить направление смещения и деформации объекта. Есть много способов судить об этом, но некоторые более громоздкие, некоторые более сложные, некоторые требуют специального оборудования, некоторые выглядят очень не интуитивно, и так далее, что создает много неудобств для голографической интерферометрии.
пьезоэлектрические фазеры могут решить все вышеуказанные проблемы.
В голографической интерферометрии в реальном времени, чтобы отличить направление смещения и деформации объекта, пьезоэлектрический фазер размещается на референтной световой дороге, которая на самом деле представляет собой небольшое зеркало, которое использует пьезоэлектрический эффект для управления своим пространственным положением. Фазеровщики, которые мы используем, имеют диаметр зеркала до 106 мм и настраивают контрольное напряжение, чтобы зеркало перемещалось туда и обратно на 20 микрон в диапазоне 0 - 120 В. пьезоэлектрический фазер используется для изменения эталонного светового пути и определения направления смещения и деформации объекта в соответствии с направлением движения интерференционной полосы в это время. Этот метод прост, удобен и интуитивно понятен и позволяет быстро сделать перемещение и направление деформации объекта надежным.
