Как сообщает "Роскосмос": российские специалисты из Центра микроэлектроники холдинга "Российские космические системы" смогли разработать технологию, позволяющую обрабатывать сразу несколько кварцевых и кремниевых микросхем, которые в последствии послужат для замещения импортируемых компонентов в производстве акселерометров и гироскопов, активно применяемых в навигации и управлении космической и авиационной техникой.
Первоначально навигационные системы представляли собой платформы, вес которых мог достигать десятки килограмм, но сейчас акселерометры и гироскопы, позволяющие автоматически решить задачи инерциальной навигации( выполняется относительно инерциальной системы координат) с помощью бортовых систем, изготавливаются со средними технологическими нормами 350 нм.
До данной разработки данные элементы производились с большой по объёму ручной работой и всего на нескольких предприятиях. Каждый элемент доводился до требуемых размеров в ручную, что способствовало огромному проценту брака, который часто превышал 70%.
Но благодаря разработке специалистов из Центра микроэлектроники холдинга "РКС" на одной пластине удаётся разрабатывать множество одинаковых микроэлементов, при этом со строго определёнными размерами и процентом брака, редко превышающим 30%.
«Благодаря применяемым в РКС ноу-хау достигнута точность кремниевых элементов микроэлектромеханической системы акселерометров и гироскопов до 1 микрометра и увеличена точность микрообработки кварцевых чувствительных элементов в 5 раз по сравнению с традиционными технологиями», — говорится в пресс-релизе «Роскосмоса».
Заместитель руководителя отдела разработки прокомментировал это следующим образом «В РКС развивают и совершенствуют эту технологию с 2007 года. Мы применяем процессы микроэлектронного производства: формирование тонкоплёночных диэлектрических и проводящих слоёв, фотолитографию, жидкостное и плазмохимическое селективное травление и другие. Для создания высокотехнологичных чувствительных элементов используются материалы, изготовленные в России»
- Спасибо за внимание
- Если понравилась статья, то подписывайтесь на канал