Создан ультрадешевый литограф для 5-нанометровых чипов, который стоит в 10 раз меньше знаменитых аналогов ASML
Нанопечатная литография (NIL) дешевле фотолитографии в ультрафиолетовом и дальнем ультрафиолетовом диапазоне, с помощью которой в настоящее время изготавливаются самые миниатюрные микросхемы масштаба 7 нм и меньше.Открытые системы