Пьезодвигатель приводится в действие пьезокерамикой в качестве двигателя, использует специальную конструкцию механической структуры, чтобы преобразовать микродвижение пьезоактюатора PZT в миллиметровое линейное или 360° угловое движение. В зависимости от режима движения двигатели можно разделить на линейные пьезодвигатели и вращательные пьезодвигатели. В современных высокоточных требованиях к автоматическому управлению в промышленных и высокотехнологичных областях пьезодвигатели с большим ходом, высокой точностью, малыми размерами и другими преимуществами широко используются в полупроводниковой технологии, оптических приборах и оборудовании, медицинском биологическом и микроскопическом оборудовании, прецизионном технологическом оборудовании, аэрокосмической и других областях.
N11.X3.5KZ — это вакуумный линейный пьезодвигатель сверхмалого объема, который использует принцип прерывистого скольжения для преобразования микродвижения пьезокерамики в ходы длиной в миллиметр. Он имеет небольшой размер 15×15×7 мм^3. С длинным ходом 3,6 мм его можно использовать отдельно или в сочетании для 1-3-мерного перемещения, скорость перемещения может достигать 2 мм/с. У нас есть версии вакуума 10^-6 мбар и 10^-9 мбар на ваш выбор, что идеально подходит для приложений с регулировкой хода в миллиметровом диапазоне в ограниченном пространстве и среде.
Характеристики
• Ход до 3,6 мм
• От 1 до 3 осей на выбор
• Малый размер, легкий вес
• Скорость до 2 мм/с
• Самоблокировка в состоянии покоя
Применение
Линейный пьезодвигатель N11.X3.5KZ может широко использоваться в высокоточных системах управления движением или оборудовании, таких как перемещение образцов при получении изображений сверхвысокого разрешения, микро- и нанооборудование и производство, манипуляция образцами сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), нанофокусировка и сканирование, активная оптика, производство и тестирование интегральных схем, микро- и наноКТ, прямая запись крупномасштабных электронных пучков (EBL), высокоточное выравнивание и настройка положения образца в высоком вакууме и т. д.
Технические данные
Пьезоконтроллер
Пьезоконтроллер E53.C1K-J, разработанный и произведенный CoreMorrow, является хорошим выбором для управления N11.X3.5KZ, это одноканальный пьезоконтроллер, который использует цифровое управление. Благодаря небольшому объему всего 105×103×30,1 мм^3, компактная структура делает его очень простым в интеграции.
Для получения дополнительной информации, пожалуйста, свяжитесь с Coremorrow, позвонив по телефону 0451-86268790, 17051647888 (WeChat ID).