С углублением научно - технических исследований применение нанометрового прецизионного позиционирования в условиях низкотемпературного вакуума и высокой магнитной среды все чаще используется в физике, химии и материаловедении, в то время как низкотемпературная вакуумная безмагнитная пьезоэлектрическая платформа является высокоточным прецизионным устройством позиционирования, Его основными особенностями являются высокая точность, высокая стабильность и высокая надежность. Он обеспечивает точное позиционирование при низких температурах, вакууме и магнитном поле и широко используется для обработки и обнаружения полупроводников.
XD106.XYZ60K
пьезоэлектрический сканер CoreMorrow XD106.XYZ60K представляет собой трехосную движущуюся пьезоэлектрическую платформу, предназначенную для использования в сверхнизких температурах, вакууме и немагнитных средах. Он может выполнять трехосное сканирующее движение XYZ, используя низкотемпературный пьезоэлектрический привод с криогенным сопротивлением до 4K и меньшим размером всего 39 мм x 39 мм x 35 мм. Центральное сквозное отверстие Фи 10 мм, легко интегрируется. Его оболочка использует легкий низкотемпературный, немагнитный материал, использует криогенную двойную скрутку, адаптированную к использованию криогенной среды.
Особенности
• 4K Низкая температура, вакуум, отсутствие магнитного поля, низкая температура до 4K
• Движение XYZ
•Диапазон хода до 30 мкм / ось @ 4K
•Разрешение до 2 нм
• Управление движением с открытым кольцом
• Быстрый отклик
Приложения
• Обработка полупроводников
• Полупроводниковый контроль
• Высокоточные испытания и операции
• Другие немагнитные вакуумы, управляемые нанодвижением
Технические данные
Рекомендуемый контроллер
CoreMorrow разрабатывает и производит различные пьезоэлектрические контроллеры, такие как модульные контроллеры, небольшие контроллеры, мощные контроллеры, промышленные контроллеры, интегрированные контроллеры и т. Д. Подходящие пьезоэлектрические контроллеры могут быть выбраны в зависимости от различных сценариев применения.
E00 / E01 пьезоэлектрический контроллер
пьезоэлектрический контроллер E00 / E01 - это модульный контроллер, и вы можете выбрать сервопривод или модуль компьютерной связи. Чтобы запустить трехосный пьезоэлектрический сканер XD106.XYZ60K, выберите E01.A3 или E01.C3, который добавляет функцию связи верхнего уровня.
E70.C3 пьезоэлектрический контроллер
пьезоэлектрический контроллер E70 - это интегрированный пьезоэлектрический контроллер, который является небольшим по размеру и имеет три выходных канала для управления компьютерной связью и управления моделированием и идеально подходит для привода трехосного пьезоэлектрического сканера XD106.XYZ60K.
За дополнительной информацией просьба обращаться по телефону 0451 - 86268790 или 17051647888 (WeChat ID)!
