Перекачивать воду с помощью специального устройства — насоса люди научились ещё в глубокой древности. А в XVII в. нашёлся человек, которому пришло в голову откачивать не воду, а воздух. Бургомистру немецкого города Магдебурга — Отто фон Герике (1602—1686), человеку образованному, было интересно что произойдёт, если из закрытого сосуда удалить весь воздух, создать в нём пустоту, вакуум (лат. vacuum). Конечно, для опыта ему пришлось усовершенствовать обычный поршневой насос: в корпусе, между цилиндром и поршнем, не должно оставаться щелей, через которые воздух мог бы вернуться обратно. Так Герике стал изобретателем вакуумного насоса (1650 г.).
Изобретение оказало в дальнейшем неоценимую помощь при изучении свойств разрежённого воздуха. Эти эксперименты способствовали развитию науки о газах, исследованию электрического разряда, формированию представлений об атомах. Один из наиболее известных опытов — самого Герике — с магдебургскими полушариями.
Со второй половины XIX в. вакуумные насосы стали применять в технике. Они до сих пор незаменимы в производстве электрических ламп накаливания: качество ламп зависит от того, насколько тщательно из них откачан воздух.
В XX столетии главная область применения вакуумных насосов — электронное приборостроение: производство усилительных и генераторных радиоламп, рентгеновских, фотоэлектронных и электронно-лучевых трубок. Чтобы изготовить сложные электронные приборы, понадобились насосы нового типа — высоковакуумные. Появление таких насосов связано с именем немецкого учёного Вольфганга Геде (1878—1945). В 1912 г. Геде изобрёл молекулярный, а в 1913 г. — диффузионный насосы. В молекулярном — частицы газа удаляются в результате столкновения с вращающимся металлическим ротором. Действие диффузионного насоса основано на использовании струи паров масла или ртути: струя захватывает и уносит молекулы откачиваемого газа.
